国产草草影院ccyycom,国产激情一区二区三区app,铁甲二手工程机械网,久久妇女高潮喷水多长时间

咨詢熱線
18518707030
ARTICLE/ 技術(shù)文章
首頁(yè)  >  技術(shù)文章  >  AMC監(jiān)測(cè)的主要目標(biāo)污染物有哪些?

AMC監(jiān)測(cè)的主要目標(biāo)污染物有哪些?

更新時(shí)間:2025-01-06瀏覽:12次
  AMC監(jiān)測(cè)的主要目標(biāo)污染物包括酸類、堿類、可凝結(jié)物質(zhì)和摻雜物質(zhì)。這些污染物在半導(dǎo)體制造過程中可能對(duì)晶圓良率產(chǎn)生負(fù)面影響,因此需要對(duì)其進(jìn)行嚴(yán)格監(jiān)測(cè)和控制。
  
  1、酸類(MA):酸類物質(zhì),尤其是無機(jī)酸,對(duì)晶圓良率的負(fù)面影響是半導(dǎo)體從業(yè)者的一大痛點(diǎn)。酸會(huì)腐蝕晶圓表面的金屬線或表面,形成顆粒物沉積到晶圓表面,損壞光刻掩模,以及弱化HEPA濾膜性能。痕量酸類物質(zhì)與晶圓良率的具體關(guān)系雖然至今還沒有系統(tǒng)性的研究,但業(yè)界普遍認(rèn)為快速精確檢測(cè)pptV濃度有機(jī)/無機(jī)酸的檢測(cè)設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)的廣泛使用是必要的。
  
  2、堿類(MB):氨氣、有機(jī)胺和酰胺等含氮分子在AMC中是相對(duì)特殊的存在。這些堿類分子會(huì)在空氣通過簡(jiǎn)單的酸堿成核機(jī)理,產(chǎn)生鹽類為主的顆粒物,會(huì)有很大可能沉降到晶圓表面或者潔凈室內(nèi)各種外表面。氨氣對(duì)銅等金屬表面具有很強(qiáng)的吸附性,對(duì)金屬參與的制程和儀器內(nèi)外表面都會(huì)產(chǎn)生持續(xù)時(shí)間較長(zhǎng)的污染。
  
  3、可凝結(jié)物質(zhì)(MCs):該AMC種類主要有塑化劑、有機(jī)磷酸鹽、抗氧化劑、硅氧烷和其他VOCs。MC物種的可凝結(jié)特性意味著在酸堿成核反應(yīng)之后,MC會(huì)凝結(jié)到細(xì)小顆粒物外表面,促進(jìn)其生長(zhǎng),也就相應(yīng)的增加了沉降幾率和對(duì)晶圓表面的危害程度。同時(shí)MC也會(huì)以分子態(tài)或者單分子層凝結(jié)到晶圓或者設(shè)備部件表面。
  
  4、摻雜物質(zhì)(MD):如磷、硼等污染物,可改變半導(dǎo)體電性能。
  

AMC監(jiān)測(cè)

 

  AMC監(jiān)測(cè)的主要目標(biāo)污染物涵蓋了酸類、堿類、可凝結(jié)物質(zhì)和摻雜物質(zhì)等多個(gè)類別。這些污染物在半導(dǎo)體制造過程中可能對(duì)晶圓良率產(chǎn)生嚴(yán)重影響,因此需要對(duì)其進(jìn)行嚴(yán)格監(jiān)測(cè)和控制。
娇妻互换享受高潮| 一女被多男玩喷潮视频免费看| 欧美性受xxxx| 女人被添全过程a片试看v| 亚洲欧美乱综合图片区小说区 | 三男一女做2爱a片免费视频| 高清无码在线观看| 人人妻人人藻人人爽欧美一区| 辽宁老妓女叫床高潮| 中文字幕一区二区三区日韩精品 | 日本老熟妇maturebbw| 欧美bbbwbbwbbwbbw| 日韩精品人妻系列无码专区免费| 肉欲公车系500章| 图书馆h含着粉嫩小奶头h漫画| 色噜噜综合熟女人妻一区| 欧美成人乱码视频xxxx| 苍井空电影| 亚洲av无码成人精品区日韩| 11孩岁女被a片黑人黑与白| 强壮公次次弄得我好爽a片| 亚洲av无码一区二区三区在线观看| 嗯啊小sao货奶头好硬视频| 高清在线播放| 太粗太硬小寡妇受不了视频| 含着jing液去上课h| 人妻忍着娇喘被中进中出视频| 美味人妻2016| 久久久久99精品国产片| 调教室捆绑白丝jk震动捧娇喘| 777奇米影视| chinese熟女老太hd| 肉色超薄丝袜脚交一区二区| 欧美疯狂做受xxxxx高潮| 亚洲av无码国产精品永久一区| 一区二区乱子伦在线播放| 亚洲欧美精品aaaaaa片| 边做奶水边喷h高h共妻| 领导在办公室含我奶头口述| 国产亚洲av片在线观看18女人| 青青草原综合久久大伊人精品|